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大分類:形状・形態観察、分析
研究機関:分子科学研究所
研究分野:分子・物質合成

形状・形態観察、分析

材料やデバイス研究開発の過程では,形状・形態観察,物理分析が必要となる.形状・形態観察に関しては光・電子の各種顕微鏡類,プローブ顕微鏡,膜厚測定などの各種装置が揃っている.分析についても,分光分析で各種波長の電磁波,イオン,プラズマを活用するシステムが存在する.これらの機器・装置の多くは微細構造解析プラットフォームの機器・装置と共通である.

該当する中分類件数:3件

走査電子顕微鏡(SEM)

SEM(Scanning Electron Microscope)は,電子線を加速・集束して得た電子プローブを試料表面に照射・走査し,対象物から放出される二次電子,反射電子,透過電子,X線,蛍光,内部起電力等を検出,その映像を拡大表示して対象を観察する顕微鏡.通常は二次電子像が利用される.像の分解能は電子線の直径で決まり,直径は熱陰極電子銃で2~10 nm,電界放射電子銃で0.5~2 nm.

分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)

分光法は分光器によって発光および吸収スペクトルを調べる物理分析法である.γ線,X線,紫外線,可視光線,赤外線,マイクロ波の各種波長領域について発光および吸収スペクトルから物質の同定,定性,定量を行う手法がある.

膜厚・段差・粗さ測定

膜厚・段差の測定では,垂直解像度1nmの触針式表面形状測定装置,膜の表面と裏面で反射した光の干渉を利用する光干渉方式(60μmまでのレジスト膜厚測定可,最大4層膜まで同時測定可),Åレベルの薄い膜に対して良い感度を持つ分光エリプソメトリー(薄膜の屈折率nと消衰係数k(光学定数)や,膜厚,表面粗さ・界面の粗さなどを測定できる)などがある.これらとは異なり,MEMSデバイスの動的特性(面外,面内)および表面形状を3次元で測定するマイクロシステムアナライザーがある.