文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます.

研究分野から探す

プラットフォームから探す

研究機関から探す

関連リンク

このサイトについて

中分類検索結果

大分類:形状・形態観察、分析
研究機関:大阪大学
研究分野:微細構造解析

形状・形態観察、分析

材料やデバイス研究開発の過程では,形状・形態観察,物理分析が必要となる.形状・形態観察に関しては光・電子の各種顕微鏡類,プローブ顕微鏡,膜厚測定などの各種装置が揃っている.分析についても,分光分析で各種波長の電磁波,イオン,プラズマを活用するシステムが存在する.これらの機器・装置の多くは微細構造解析プラットフォームの機器・装置と共通である.

該当する中分類件数:2件

透過電子顕微鏡(TEM)

TEM(Transmission Electron Microscope)は,観察対象に電子線をあてて透過した電子線を電子レンズ系で拡大・結像させて物質の構造を分子・原子レベルで直接観察,あるいは微小領域の組成分析を行う顕微鏡.試料は薄片化が必要.空間分解能は電子の加速電圧が200 kVのとき,0.2 nm程度である.分析には電子線によって試料から発生する二次電子や特性X線などを利用する.

試料作製装置(TEM)

透過電子顕微鏡(TEM)用の薄片試料を作製装置がある.試料を電子線が透過する厚み(約100nm)に薄くすることが必要で,その際可能な限りオリジナルの情報を保つことが求められる.作製方法は材料によりまた測定目的によりことなる.硬い材料では,FIB法,Arミリング法などが用いられる.