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中分類検索結果

大分類:形状・形態観察、分析
研究機関:産業技術総合研究所
研究分野:微細構造解析

形状・形態観察、分析

材料やデバイス研究開発の過程では,形状・形態観察,物理分析が必要となる.形状・形態観察に関しては光・電子の各種顕微鏡類,プローブ顕微鏡,膜厚測定などの各種装置が揃っている.分析についても,分光分析で各種波長の電磁波,イオン,プラズマを活用するシステムが存在する.これらの機器・装置の多くは微細構造解析プラットフォームの機器・装置と共通である.

該当する中分類件数:1件

走査プローブ顕微鏡(SPM)

SPM(Scanning Probe Microscope)は,先端を尖らせた探針(プローブ)を物質の表面に近づけてプローブ直下の表面に刺激を与えた時の応答を測定し,プローブを動かした時の応答から,原子配列,電子構造,凹凸などの表面状態をナノメートルオーダーの空間分解能で2次元的に拡大観察することのできる顕微鏡.