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大分類:形状・形態観察、分析

形状・形態観察、分析

材料やデバイス研究開発の過程では,形状・形態観察,物理分析が必要となる.形状・形態観察に関しては光・電子の各種顕微鏡類,プローブ顕微鏡,膜厚測定などの各種装置が揃っている.分析についても,分光分析で各種波長の電磁波,イオン,プラズマを活用するシステムが存在する.これらの機器・装置の多くは微細構造解析プラットフォームの機器・装置と共通である.

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