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大分類:膜加工・エッチング

膜加工・エッチング

機能デバイスの製造工程では,試料表面,例えば薄膜表面に塗布したレジスト膜に露光・現像してできたマスクパターンを用いて試料表面をエッチング(食刻)することで,薄層のパターンを形成する.その後,不要となったマスク(レジスト)を除去する(アッシング).なお,微細加工をマスクを使わず直接行う手法もある.集束イオンビーム加工やレーザー加工である.

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