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中分類検索結果

大分類:表面分析装置
研究機関:産業技術総合研究所
研究分野:微細構造解析

表面分析装置

英語名:Equipment for Surface Analysis.物質表面の原子を電子線やX線で励起した際に放出される光電子やイオンを検出し分析することにより,物質表面の電子状態及び電子状態等を分析する装置.励起に用いる電子線等の試料内への侵入深さが小さいため,表面のみの情報を得ることができる.

該当する中分類件数:2件

X線光電子分光(XPS)

英語名:X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS),もしくはElectron Spectroscopy for Chemical Analysis (ESCA).物質にX線を照射して物質構成原子の電子を励起し,外部に放出された光電子の持つエネルギーから原子の結合エネルギーを求め,物質中の元素を特定する.酸化による結合エネルギーの変化を利用して酸化状態の特定も可能.

エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)

英語名:Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, EDSもしくはEDX.物質に電子線やX線等を照射して発生する特性X線もしくは蛍光X線をエネルギー分散型検出器にて検出・分析して,物質を構成する元素と濃度を調べる方法で,電子顕微鏡の付加機能としても提供される.短時間にホウ素からウランまでの元素の検出が可能.