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大分類:表面分析装置
研究機関:物質・材料研究機構
研究分野:微細構造解析

表面分析装置

英語名:Equipment for Surface Analysis.物質表面の原子を電子線やX線で励起した際に放出される光電子やイオンを検出し分析することにより,物質表面の電子状態及び電子状態等を分析する装置.励起に用いる電子線等の試料内への侵入深さが小さいため,表面のみの情報を得ることができる.

該当する中分類件数:4件

オージェ電子分光(AES)

英語名:Auger Electron Spectroscopy, AES.電磁波等で内殻電子を放出させ,外殻電子が空いた内殻軌道に遷移する際に放出される電子(オージェ電子)のエネルギー計測による元素の検出分析法.検出可能なのは表面数nmから放出されたオージェ電子のみで,物質表面の分析に用いられる.

二次イオン質量分析(SIMS)

英語名:Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS).固体試料の表面にビーム状のイオン(一次イオン)を照射し,そのイオンと試料表面の分子・原子レベルでの衝突によって発生するイオン(二次イオン)を質量分析計で検出することにより元素分析を行う表面計測法.イオンミリングと組み合わせることにより深さ方向分析も可能.

エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)

英語名:Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, EDSもしくはEDX.物質に電子線やX線等を照射して発生する特性X線もしくは蛍光X線をエネルギー分散型検出器にて検出・分析して,物質を構成する元素と濃度を調べる方法で,電子顕微鏡の付加機能としても提供される.短時間にホウ素からウランまでの元素の検出が可能.

電子エネルギー損失分光(EELS)

英語名:Electron Energy-Loss Spectroscopy, EELS.電子が試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定することによって,物質の構成元素や電子構造を分析する手法.観測の際は試料を薄片状に加工する必要がある.TEMと組み合わせて利用することが多い.EDSと比較してエネルギー分解能が高く,元素によっては化学状態分析も可能.