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大分類:特殊プローブ顕微鏡

特殊プローブ顕微鏡

英語名:Advanced Probe Microscope.陽電子,イオン,紫外線,X線,シンクロトロン放射光などの特殊なビームをプローブ(探針)に用いて表面状態を拡大観察する顕微鏡.プローブの特性に応じた独特の測定・観察が可能となる.

該当する中分類件数:4件

陽電子プローブマイクアナライザ

英語名:Positron Probe Micro-Analyzer.集束陽電子ビームを走査して物質に照射し,物質中で陽電子が電子と衝突しガンマ線を発生して消滅するまでの時間(陽電子寿命)の分布を測定するプローブ顕微鏡.ビームエネルギーによって入射深さを変えて,原子サイズ極微欠陥の3次元イメージングができる.

走査型イオン顕微鏡

英語名:Scanning Ion Microscope.集束されたイオンビーム(Focused Ion Beam, FIB)を走査しながら試料に照射し,試料から放出される二次荷電粒子を検出して試料表面構造を高分解能観察できる顕微鏡.原子配列,吸着の観察,元素分析などに用いられる.

三次元マルチスケール解析

英語名:Three Dimensional Multi-scale Analyzer.集束イオンビーム(FIB)-走査電子線(SEM)-Arイオンのトリプルガンを装備し,FIB-SEM直交配置により,FIB-SEMシリアルセクショニングによる高分解能三次元再構築像観察が可能な多機能顕微鏡解析装置.

光電子顕微鏡

英語名:Photoemission Electron Microscope, PEEM.放射顕微鏡の一種で,紫外線,シンクロトロン放射光,またはX線を入射し,表面から放出される光電子の局所的変化を利用して画像化する顕微鏡.数十nmの分解能で表面/界面/バルクの特性の時間分解測定可能.