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大分類:走査型プローブ顕微鏡

走査型プローブ顕微鏡

英語名:Scanning Probe Microscope, SPM.先端を尖らせた探針(プローブ)を物質の表面に近づけてプローブ直下の表面に刺激を与えた時の応答を測定し,プローブを動かした時の応答から,原子配列,電子構造,凹凸などの表面状態をナノメートルオーダーの空間分解能で2次元的に拡大観察することのできる顕微鏡.

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