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大分類:透過電子顕微鏡
研究機関:東北大学
研究分野:微細構造解析

透過電子顕微鏡

英語名:Transmission Electron Microscope, TEM.観察対象に電子線をあてて透過した電子線を電子レンズ系で拡大・結像させて物質の構造を分子・原子レベルで直接観察,あるいは微小領域の組成分析を行う顕微鏡.試料は薄片化が必要.空間分解能は電子の加速電圧が200 kVのとき,0.2 nm程度である.分析には電子線によって試料から発生する二次電子や特性X線などを利用する.

該当する中分類件数:2件

収差補正透過電子顕微鏡

英語名:Spherical Aberration Corrected Transmission Electron Microscope, Cs-TEM.球面収差補正機構が照射系や結像系に組み込まれることによって,空間分解能を向上させ,単原子レベルでの位置特定や元素識別を可能とした透過電子顕微鏡.

分析電子顕微鏡

英語名:Analytical Transmission Electron Microscope, A-TEM.数百kVの電圧で加速した電子を試料に照射して生じる特性X線,二次電子,非弾性散乱電子などを検出器して,極微小部の組成分析や状態分析などを行う電子顕微鏡.