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大分類:透過電子顕微鏡

透過電子顕微鏡

英語名:Transmission Electron Microscope, TEM.観察対象に電子線をあてて透過した電子線を電子レンズ系で拡大・結像させて物質の構造を分子・原子レベルで直接観察,あるいは微小領域の組成分析を行う顕微鏡.試料は薄片化が必要.空間分解能は電子の加速電圧が200 kVのとき,0.2 nm程度である.分析には電子線によって試料から発生する二次電子や特性X線などを利用する.

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