参画機関から

微細加工 大阪大学 大阪大学 ナノテクノロジー設備供用拠点

第2回ヘリウムイオン顕微鏡セミナー(7月6日)開催のお知らせ

【概要】ヘリウムイオン顕微鏡はヘリウムイオンビームを走査することによって試料より発生する2次電子から画像を得る.イオン源の特性から最小ビーム径が0.5nmと小さく,SEMと比べて被写界深度が深いのが特徴であり,電子中和銃を用いることで絶縁体を導電体コート無しで高分解能で観察できる.またヘリウムイオンを用いた試料のエッチングが可能であり,従来のガリウムイオンFIBと比べると10nm以下の微細加工が可能である.大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工プラットフォームでは平成25年度よりヘリウムイオン顕微鏡を導入し,文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業において共用装置として運用している.本セミナーではヘリウムイオン顕微鏡の原理から応用例について紹介する.

【日時】2018年7月6日(金)13:30~16:30
【場所】大阪大学中之島センター講義室304
http://www.onc.osaka-u.ac.jp/others/map/index.php

【主催】大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工プラットフォーム

【お問い合せ】大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工PF 法澤
 E-mail:norizawa(at)sanken.osaka-u.ac.jp
 TEL:06-6879-4654