参画機関から

微細構造解析 産業技術総合研究所 産業技術総合研究所

エッチング実践セミナー(9月13日)開催のお知らせ

 産業技術総合研究所ナノプロセシング施設(NPF)は,「エッチング実践セミナー」を,2017年9月13日(水)産業技術総合研究所ナノプロセシング施設にて開催いたします.
 エッチング表面のケミストリーから最先端デバイス材料の加工技術について講演していただく予定です.オーサーズ・インタビューの時間を設けましたので,講師の方々に個別に質問をすることが可能です.産学官いずれのご所属の方にも奮ってのご参加をお待ちしています.
 また有料の実習コースでは,NPFの装置を使用して,パターンデータの設計(CAD),マスクレス露光装置によるリソグラフィー,エッチング加工,電子顕微鏡による形状観察工程を盛り込み,一連の微細加工の基礎的なスキルを獲得していただくことを期待しています.*講演のみ,実習のみの参加申込も可能です.

主催:産業技術総合研究所ナノプロセシング施設(NPF)

【日時】2017年9月13日(水)12:55-17:10
【場所】産業技術総合研究所 つくば中央2-12棟 第6会議室

【定員】90名(先着順,定員になり次第締切)
【参加費】無料(事前参加登録をお願い致します)
【参加申込方法】E-mailにてお申し込み下さい.(*入力必須項目あり)
【参加申込締切】2017年9月8日(金)15時まで

【お問い合わせ】
国立研究開発法人 産業技術総合研究所
TIA推進センター 共用施設運営ユニット 共用施設ステーション ナノプロセシング施設
電子メールアドレス:tia-npf-school3(at)aist.go.jp