参画機関から

微細加工 豊田工業大学 豊田工業大学

平成29年度 リソグラフィ・微細加工 実習・講習会(8月3日~4日)開催のお知らせ

 リソグラフィ・微細加工 実習・講習会を開催します.
 講義および実習により,マスクレス露光装置を中心に,微細パターンの転写によってリソグラフィの基礎を習得して頂けます.ハスの葉の凹凸構造に似せた微細パターンを自身でデザインして形成し,撥水効果の評価を行います.

・講義1 「フォトリソグラフィによるマイクロ・ナノ加工と関連装置」 豊田工大 教授 佐々木実
・講義2 「微細構造による撥水効果(ロータス効果)」 豊田工大 教授 佐々木実
・マスクレス露光装置の実演((株)大日本 科研の専門技術者によるパターン形成)

主催:豊田工業大学

【日時】
2017年8月3日(木)13:15~17:30,8月4日(金)9:00~17:30
【場所】豊田工業大学 東棟2階,共同利用クリーンルーム
【定員】10名(*定員になり次第締切)
【受講料】企業:4万円,大学・公的機関:1万円,学生の聴講のみ参加:無料
【参加申込方法】Webより申込
【参加申込締切】2017年7月3日(月)

【お問い合わせ先】

豊田工業大学 研究支援部 研究協力グループ 安田美智枝
(TEL)052-809-1723
(E-mail)sympo(at)toyota-ti.ac.jp

【添付ファイル】
http://www.toyota-ti.ac.jp/kenkyu/gaiyo20170803.pdf