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参画機関から

微細加工 大阪大学 大阪大学

平成29年度第1回 大阪大学微細加工PF 「設備利用者セミナー(超高精細電子ビームリソグラフィー装置 エリオニクス ELS-100T)」(6月2,5,26日)開催のお知らせ

 当拠点に支援申込みを検討されている方,又は当拠点に支援申込みされた方で,該当設備を初めて使う人向けの設備利用者セミナーです.該当設備を自分で操作できるようになるための1日コースの実習です

超高精細電子ビームリソグラフィー装置 エリオニクス ELS-100T
●内容:CAD設計(WecaS),装置概要,装置調整,描画,現像,確認

【主催】大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点 微細加工プラットフォーム

【日時】

●第1回日時:6月2日(金)10時~17時
●第2回日時:6月5日(月)10時~17時(*満員)
●第3回日時:6月26日(月)10時~17時(*未申込者優先)
【場所】大阪大学 吹田キャンパス 産業科学研究所 (大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1)
【定員】6名(*定員になり次第締切)

【参加申込方法】
E-mail
【参加申込締切】
第1回,第2回:2017年5月30日(火)15時
第3回:2017年6月20日(火)15時

【問合せ・申込先】
大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工PF
TEL: 06-6879-4654 法澤(Norizawa),近田(Konda)
nanonet(at)sanken.osaka-u.ac.jp