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ヘリウムイオン顕微鏡セミナー(4月25日)開催のお知らせ

 ヘリウムイオン顕微鏡はヘリウムイオンビームを走査することによって試料より発生する2次電子から画像を得る.イオン源の特性から最小ビーム径が0.5nmと小さく,SEMと比べて被写界深度が深いのが特徴であり,電子中和銃を用いることで絶縁体を導電体コート無しで高分解能で観察できる.またヘリウムイオンを用いた試料のエッチングが可能であり,従来のガリウムイオンFIBと比べると10nm以下の微細加工が可能である.
 大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工プラットフォームでは平成25年度よりヘリウムイオン顕微鏡を導入し,文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業において共用装置として運用している.本セミナーではヘリウムイオン顕微鏡の原理から応用例について紹介する.

【主催】
 大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工プラットフォーム,
 カールツァイスマイクロスコピー株式会社

【日時】2017年4月25日(火)13:00~17:00
 ①セミナー 13:00~,②装置見学 15:00~,③利用相談 16:00~

【場所】大阪大学 吹田キャンパス 産業科学研究所 講堂

【参加費】無料

【参加申込方法】norizawa(at)sanken.osaka-u.ac.jp(*前日までに法澤まで)

【お問合せ先】
 大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点微細加工PF
 TEL:06-6879-4654 法澤

添付ファイル

HIM_seminar_20170425.pdf