参画機関から

東京大学

東京大学・微細加工および微細構造解析プラットフォーム「2016国立大学フェスタ・公開セミナー」(11月2日)開催のお知らせ

主催:東京大学・微細加工および微細構造解析プラットフォーム
日時:2016年11月2日(水曜日)13:30~17:30
場所:東京大学 武田先端知ビル5F武田ホール(浅野キャンパス)
参加費:無料

【プログラム】
 13:00~13:30 受付
 13:30~13:50 プラットフォーム事業のご紹介

[微細加工プラットフォーム]
 13:50~14:20 「東京大学VEDCによる集積化CMOS-MEMSの展開」 三田
 14:20~14:35 「高速電子線描画装置を利用した大面積微細描画支援」 藤原
 14:35~14:50 「微細加工プラットフォームの紹介」 コーディネーター
[微細構造解析プラットフォーム]
 14:50~15:05 「先端電子顕微鏡法による原子分解能構造解析」 熊本
 15:05~15:20 「SIMSによる元素イメージング」 竹内
 15:20~15:35 「XPSによる表面分析」 沖津
 15:35~15:50 「XRDによる結晶構造解析」 府川

 15:50~17:30
   コーヒーブレイク
   ポスター展示
   技術相談(各設備担当が対応)
   設備見学 40~50分程度
[設備見学]
 微細加工設備:武田先端知ビル スーパークリーンルーム内 先着20名
 微細構造解析設備:工学部9号館 先着20名 2グループ

【参加申込方法】
オンライン登録

【お問い合わせ】
[微細加工プラットフォーム]
 E-mail:nanotech(at)sogo.t.u-tokyo.ac.jp
[微細構造解析プラットフォーム]
 E-mail:info(at)lcnet.t.u-tokyo.ac.jp