参画機関から

微細加工 産業技術総合研究所,東京工業大学,東京大学,北海道大学

EB描画実践セミナー(2月19日)開催のお知らせ

 文部科学省委託事業「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として,『EB描画実践セミナー』を2016年2月19日(金)産業技術総合研究所にて開催いたします.
 電子ビーム露光技術の基礎から描画のためのデータ処理技術について,初心者にも分かり易く解説します.また,最新の露光装置を使った事例を紹介しますので,より具体的なイメージを持つことができると思います.
 このセミナーに併設して“データ処理ソフトの使い方”についての無料実習コースを準備いたしました.露光実験を検討されている皆様に,是非一度使っていただきたく思います.また,実際の露光装置を使った実習プログラムも用意しています.産学官いずれのご所属の方にも,広くご参加をお待ちしております.
※無料実習のみの参加はできません.

【主催】
産業技術総合研究所 ナノプロセシング施設(NPF)
東京工業大学 量子ナノエレクトロニクス研究センター
【共催】
 東京大学 微細加工プラットフォーム
 北海道大学 微細加工プラットフォーム
 ナノエレクトロニクス計測分析技術研究会(TSC)

【日時】2016年2月19日(金)9:55~12:30

【場所】産業技術総合研究所 中央第2事業所 OSL棟(2-12棟)第6会議室

【定員】60名(*先着順)

【参加費】無料

【参加申込方法】E-mailにて(必須項目あり)

【参加申込締切】2016年2月18日(木)15時




【お問合せ先】

国立研究開発法人 産業技術総合研究所
つくばイノベーションアリーナ推進センター
共用施設運営ユニット・共用施設ステーション
ナノプロセシング施設
E-mail:tia-npf-school4(at)aist.go.jp