参画機関から

東京大学

東京大学共用設備公開セミナー(11月4日)開催報告

 平成27年11月4日東京大学・武田ホールにおいて微細加工および微細構造解析プラットフォームが合同で公開セミナーを開催いたしました.

 多くのご来場者をお迎えしましたが,企業や大学をはじめ,一般市民の方にもご参加いただきました.VDECセンター長 浅田先生からのご挨拶の後,微細加工プラットフォームからは三田先生によるご講演「微細加工と集積回路で拓く新機能デバイス」,池野先生から電子線描画装置を用いた微細描画の事例紹介を行いました.微細構造解析プラットフォームからは柴田先生によるご講演「最先端原子分解能電子顕微鏡の世界」,中村室長からは微細構造解析プラットフォームの取組についてのご紹介を行いました.

 講演終了後,参加者は各グループに分かれ,微細加工設備については武田先端知ビル・クリーンルームを,微細構造解析設備については工学部9号館を見学いたしました.同時に技術相談を行い,多くの方々のご質問にお答えしました.

 また,JST,各プラットフォームによるポスター展示,日本電子殿によるSEM観察デモがあり,来場者からは熱心な質問をいただきました.

 今回の公開セミナー開催により,企業を中心に多くのユーザーを発掘できました.一般市民の皆様にも大学活動の一端をご紹介でき,大変,有意義な公開セミナーとなりました.