参画機関から

微細加工 名古屋大学 名古屋大学

3Dプリンティングによるマイクロ温度センサの作製に成功

 国立大学法人名古屋大学工学研究科秦 誠一教授,溝尻 瑞枝助教らは,戦略的イノベーション創造プログラム(SIP)「イノベーションソサエティを活用した中部発革新的機器製造技術の研究開発」(研究開発代表者 秦 誠一教授)において,フェムト秒レーザ還元直接描画法を適用したマイクロ温度センサの作製に成功しました.

 直接描画技術は,3Dプリンタの基礎技術として盛んに研究が進められています.しかしながら,金属微細構造は,原料の金属粉末が酸化してしまうため,大気中で作製することが困難でした.本研究では,原料に金属酸化物ナノ粒子と還元剤を混合した溶液を用い,フェムト秒レーザにより還元焼結することで,10 µmオーダの金属細線を大気中で作製することに成功しました.更に,この技術を利用した金属マイクロ温度センサの作製に世界で初めて成功しました.

 本研究成果は,The 7th International Congress on Laser Advanced Material Processing 2015(LAMP2015)[1]や第83回レーザ加工学会講演会[2]で発表し,レーザ加工学会講演会ではBest Poster Presentation Awardを受賞しました.

図1 (a)マイクロ温度センサの光学顕微鏡像と(b)抵抗温度特性.直接描画形成したパターンは,金属的な抵抗温度特性を有しています.

【参考文献・発表】
[1] M. Mizoshiri, S. Arakane, J. Sakurai, S. Hata, Proceedings of 7th International Congress on Laser Advanced Material Processing, "Reduction of CuO nanoparticles for Cu micropatterning by femtosecond laser pulses", #15-075: A126.
[2] 溝尻瑞枝,荒金駿,櫻井淳平,秦誠一,第83回レーザ加工学会講演論文集,P.179.