参画機関から

微細加工 東北大学 東北大学

リオン㈱が東北大学で試作したMEMSチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」がNHK放送技術研究所「技研公開」で一般公開されます

 リオン㈱が東北大学で試作したMEMSエレクトレットマイクロホンチップを組み込んだ「防沫仕様の1/4インチ小型マイクロホン」が,NHK放送技術研究所の「技研公開2103」(2013年5月30日~6月2日)にて一般公開されます.MEMSエレクトレットマイクロホンチップは次世代の高性能超小型マイクロホンの主部部材として期待されており,今回,文部科学省ナノテクノロジープラットフォームの支援を受けて東北大学の設備を用いて試作されたもので,東北大学がこれまで蓄積してきた微細加工技術が活用されています.

 今回開発したMEMSエレクトレットマイクロホンは,従来のエレクトレットコンデンサマイクロホンに比べ,熱や湿度に強い耐環境性能を備え,MEMSプロセスによる製造方法から高精度な設計が可能となり,低ノイズで周波数特性の揃った高性能マイクロホンを低コストで生産することが可能となります.放送用,補聴器用のほか,環境センシングや身体のモニタリングへの応用も期待されます.


リオン㈱プレスリリース
http://www.rion.co.jp/dbcon/pdf/news_130523.pdf

NHK放送技術研究所「技研公開」2013
展示項目32 NHK技術の活用と実用化開発の紹介
http://www.nhk.or.jp/strl/open2013/tenji/tenji32/index.html