高品質真空利用微細加工技術に関する支援  (山口大学)

山口大学では産学公連携センター内に微細加工支援室を設けて,微細加工技術及びそれを下支えする高品質真空技術分野でナノテクノロジー関連装置の外部供用を推進します.
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0836-85-9993
  nanotech(at)yamaguchi-u.ac.jp
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事業の紹介

 産学公連携センター・微細加工支援室において以下の装置・技術による支援を行います.
  • 微細加工:2台の電子線描画装置(最小線幅 10nm,50nm)及び周辺装置により,6インチまでの任意基板サイズの微細加工ができます.
  • 薄膜形成:10元超高真空スパッタ成膜装置など特徴ある装置により多層の薄膜形成ができます.さらに新設のエリプソメータにより多層膜の膜厚の測定が可能です.
  • 真空環境・計測:微細加工や薄膜形成に必要な基盤技術としての超高真空技術を持っており,微細加工や薄膜形成における良質な真空環境の提供やプロセス時における残留ガスの影響分析等の支援ができます.特に新設したダイナミック昇温脱離ガス分析装置ではデバイス,部品等が稼動状態で発生するガス分析ができます.
 以上の装置・技術・知識を活用して次世代の材料・デバイスの開発の支援を行います.


SEM image of micro-structured surface
and Droplet on the surface
Titanium Vacuum Conponents with
High  Vacuum Paformance.
  

Reconstructed image of a hologram pattern generated from a image of letters "NUT".

Metamaterial  with a mushroom structure.
(L:Regist Patern,R:Schmatic ilastration)

ニュース

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2016/10/31pdf金属材料の微細加工
(三愛プラント工業株式会社)
2016/10/31pdf液体による微量漏れ検出技術の開発
(VISTA株式会社)
2015/11/06pdf多分岐ポリマー型放射線レジストの塗布・描画性能評価
(熊本大学,合同会社グルーオンラボ)
2015/11/06pdf省合金型二相ステンレス鋼の真空容器向け使用特性評価
(新日鐵住金ステンレス株式会社)
2014/10/29pdfチタン材料の光刺激ガス脱離の研究
(高エネルギー加速器研究機構)
2013/06/14pdf磁性体を使ったホログラフィーによる3D画像表示の研究
(長岡技術科学大学)
2012/09/20pdf基準微小ガス流量導入装置の開発
(産業技術総合研究所)
2012/09/20pdf局所強磁性共鳴によって誘起される直流電圧の研究
(福岡大学)
2012/09/20pdf高感度・高性能電子線レジストプロセスの開発
(グルーオンラボ,熊本大学,山口大学)
2012/09/20pdfチタン材料の光刺激ガス脱離の研究
(高エネルギー加速器研究機構,山口大学)

その他の成果事例

お問い合わせ

国立大学法人 山口大学 大学研究推進機構 産学公連携センター
微細加工支援室(ナノテクノロジープラットフォーム)
〒755-8611 山口県宇部市常盤台2丁目16番1号
0836-85-9993 (担当:木村)
  nanotech(at)yamaguchi-u.ac.jp
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