早稲田大学ナノ理工学研究機構:多様な基板素材と基板サイズに対応可能な微細加工拠点  (早稲田大学)

本拠点は,微細加工の領域において技術支援サービスを行います.共用施設である「ナノテクノロジーリサーチセンター」を中心に,企業での商品開発経験が豊富なスタッフが皆様の技術サポートをさせていただき,ナノテクノロジーの研究基盤の構築に寄与し,産官学連携や異分野融合を推進していきます.
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事業の紹介

早稲田大学は平成13年から12年をかけてハイテクリサーチセンター,COE,ナノテクノロジーネットワーク(ナノネット),低炭素ネットワーク(LCnet)等の各種公的資金等にて微細加工のための施設・設備を整備し「ナノテクノロジーリサーチセンター」として集約してナノテクノロジー研究・教育の拠点化を進めてきました.また,その運営管理組織として「ナノ理工学研究機構」を設立して,ナノテクノロジー分野における共用研究拠点として学内はもとより外部企業・公的機関等に対して設備を開放するとともに本学の研究で得られた知識をもとに技術支援を行ってきました.これらの運用実績で培われたノウハウを「微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム」でフルに活用し,「多様な素材に対応可能かつ基板サイズを選ばないナノマイクロ三次元加工技術を基軸」として「電気化学反応を利用した加工支援」および「グリーンプロセスを利用した加工とそれを応用したデバイス機能計測支援」を行います.


FIB-SEMによるポリスチレンビーズの低加速電圧加工(動画)

FIB-SEMオペレーションの様子50nmUVナノインプリントパターン
  
RHEED像HF treated Cu-based metallic glass

ニュース

2017/01/23微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム「共用施設から生まれるイノベーション」(3月8日)開催のお知らせ
2016/09/09微細加工プラットフォーム「センサー・MEMS実践セミナー」(9月30日)開催のお知らせ
2015/12/14マイクロ流体デバイス作製の初歩の初歩~SOFTMEMS技術でとりあえず作ってみよう~[微細加工実習編](2月16日~18日)開催のお知らせ
2015/11/18バイオ・MEMS実践セミナー(12月11日)開催のお知らせ
2014/11/18企業見学会&出張講演会 「産学連携によるナノ・バイオ・エネルギー拠点形成」 開催(12月5日)のお知らせ
2014/02/26早稲田大学ナノテクノロジー研究所で高校生が体験実習
2014/02/18「ナノテクノロジーとその応用技術~環境・生命医科学分野への最新応用事例とイノベーション展開~」開催(3月11日)のお知らせ
2013/11/29早稲田大学ナノテクノロジーフォーラム クリーンエネルギー分野・グリーンエレクトロニクス分野 連携シンポジウム『スマートな電気エネルギーシステムとそれを支える要素技術(生成と消費)』(12月10日)開催のお知らせ
2013/10/22研究会「最先端通信技術」(11月22日)開催のお知らせ
2013/08/02早稲田大学ナノテクノロジー研究所を高校生が見学

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2016/10/31pdf微小液滴形成チップの作製
(横浜国立大学大学院工学研究院)
2015/11/06pdfマイクロ流体有機ELの作製と電界発光特性
(九州大学大学院工学府応用化学部門)
2014/10/29pdfナノめっき技術を用いた硬質貴金属電気接点の実用化研究
(田中貴金属工業(株))
2013/07/17pdf金ナノドット集積化電気泳動分析用ポリマーマイクロチップの作製
(京都大学,早稲田大学)
2013/10/17pdfサブミクロンAu粒子を用いたウェーハ接合
(ズース・マイクロテック(株))

その他の成果事例

お問い合わせ

早稲田大学 ナノ理工学研究機構
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