筑波大学微細加工プラットフォーム  (筑波大学)

NIMSとAISTとの緊密な連携のもとで,ナノエレクトロニクス分野におけるデバイス・材料の設計から作成,評価までの総合的な技術支援を提供します.特に,デバイスシミュレータによる素子構造の設計,インクジェット型3次元パターン形成技術,FIBによる高精度超微細加工技術等を用いながら高度なデバイス作成技術を支援します.また,北関東地域の公的研究機関や民間企業への技術支援を積極的に行っています.
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事業の紹介

 本機関では,本学数理物質科学研究科ナノエレクトロニクス専攻やパワーエレクトロニクス専攻などと連携し,ナノエレクトロニクス分野を中心に,デバイス設計から試作・評価までを総合的に支援しています.
 デバイス設計においては,SILVACOデバイスシミュレーターを用いたデバイス構造と電子特性の事前予測が可能ですまた,デバイス試作に関しては,電子線描画およびマスクレスプロジェクション描画装置による高速微細パターンの形成,スパッタリング成 膜,およびデュアル集束イオンビームによる任意局所領域への加工・堆積等の技術を提供します.さらに,走査プローブ顕微鏡による局所解析,FIBを用いた3次元構造解析,低加速SEMによる非侵襲高分解能観察を通して,デバイスの特性・構造解析を行うことができます.
 TIAナノエレ人材育成事業との連携のもとで,高度な専門技術者の養成や産学連携を推進していきます.
量子細線FETの電位解析FIB-SEM装置(撮影 大東正巳)
  
高分解SEM装置(撮影 大東正巳)ナノ構造評価・解析例

ニュース

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2016/10/31pdf甲虫の微細構造観察
(東京理科大学 理工学部 物理学科)
2015/11/06pdf超伝導量子渦ビットの試作
(電気通信大学,日本原子力機構,東北大学)
2014/10/29pdfデンプン顆粒の内部構造
(浜松医科大学)
2013/08/28pdfナノワイヤ型ショットキートランジスタの電気特性予測と構造の最適化
(早稲田大学理工学術院)
2013/08/28pdfプレーナー型トンネルトランジスタの電気特性とそれを実現するデバイス構造最適化のシミュレーションによる検証実験
(東京工業大学大学院総合理工学研究科)
2013/08/28pdf無電解金メッキによって作製されたナノギャップ電極のTEM試料作製
(東京工業大学応用セラミックス研究所)
2013/10/17pdf浸炭鉄の高分解能観察と分析
(住友電気工業株式会社,日新電機,筑波大学)

その他の成果事例

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国立大学法人 筑波大学
数理物質エリア支援室 担当スタッフ
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