シリコンと各種物質のナノ微細加工によるハイブリッド化ものづくり  (豊田工業大学)

シリコン系のプロセスラインを軸に,III-V族,カーボン,磁気材料も含めたマイクロ・ナノ加工に対応可能.太陽電池,ナノ構造素子,MEMSに関する研究者を備え,技術指導や委託加工に対応できる.実習・講習会,企業向け支援に実績がある.
Contact to this institute
【電話,E-mailでのお問合せ】
 052-809-1725
  nanoplatform_office(at)toyota-ti.ac.jp
(at)を@に書き換えてください.

事業の紹介

学外利用が可能なクリーンルームを備え,シリコン系(3~4インチ対応)素子の微細加工とプロセス設備群を中心に、一連の設備を持つ.
電子線描画や酸化・拡散炉など,微細加工に必要な標準設備を揃え,一連の試作が施設内で実施できる.
この基盤技術と,多種多様なナノテクノロジーを扱う研究室群とが連携して研究活動を進めている.
シリコン微細加工技術と様々なナノ構造体とのハイブリッド化に関する支援を推進する.
クリーンルームは企業で実務経験のある技術職員によって管理され,高度な技術指導や委託加工までに対応できる.
支援担当の研究室群からは,III-V族,カーボン,磁気材料にも対応できるナノ構造の加工・形成・評価用の設備群も提供され,学内研究者が協力する.
小規模大学ながら,太陽電池,ナノ構造素子と素材,MEMSなどに関する設備と技術を提供できる.
プローブ顕微鏡やX線計測の装置と技術から,構造評価も一か所で迅速に対応できる.
電子ビーム描画装置酸化・拡散炉
  
マスクアライナ装置実習・講習会の様子

ニュース

2017/10/23セミナー「人に役立つ分子の世界 ~加工・成形技術開発と観察・分析への企業支援事例~」(10月30日)開催のお知らせ
2017/10/04豊田工業大学「難環境作業スマート機械技術研究センター第4回シンポジウム」(12月14日)開催のお知らせ
2017/09/22豊田工業大学 「スマートビークル研究センター 第7回シンポジウム」(11月17日)開催のお知らせ
2017/09/19豊田工業大学高分子およびソフトマテリアル材料のための機器分析講座「X線構造解析技術の習熟」(11月8~9日)開催のお知らせ
2017/09/05豊田工業大学「グリーン電子素子・材料研究センター第3回シンポジウム スマートエネルギー技術研究センター第10回シンポジウム 合同シンポジウム」(10月13日)開催のお知らせ
2017/06/13豊田工業大学「企業様向けオープンラボ」(9月1日)開催のお知らせ
2017/06/13第31回 半導体プロセス実習・講習会(9月14日~15日)開催のお知らせ
2017/06/13平成29年度 リソグラフィ・微細加工 実習・講習会(8月3日~4日)開催のお知らせ
2017/02/07豊田工業大学「先進触媒開発研究センター第1回シンポジウム」(3月10日)開催のお知らせ
2017/01/23微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム「共用施設から生まれるイノベーション」(3月8日)開催のお知らせ

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2016/10/31pdf微細加工によるハイブリッド回路基板の試作
(テクダイヤ株式会社)
2016/10/31pdf表面ナノ構造の構築および走査プローブ法を用いた科学計測
(京都工芸繊維大学)
2015/11/06pdf省動力動作で高温が得られる薄膜型マイクロヒータの開発
(矢崎総業株式会社)
2013/10/17pdfプラズマを利用しないMEMS犠牲層Siエッチング
(名古屋大学工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター)
2013/06/13pdf太陽電池基板のリン拡散制御と焼成挙動
((株)ノリタケカンパニー)
2013/06/13pdf振動型MEMSデバイスの試作
(豊田工業大学)
2012/09/20pdf結晶シリコン太陽電池用受光面銀ペーストの焼成挙動について
(ノリタケカンパニーリミテド)
2012/09/20pdf走査プローブ顕微鏡を用いた表面ナノ構造の形成に関する研究
(京都工芸繊維大学)

その他の成果事例

お問い合わせ

豊田工業大学
研究支援部研究協力グループ 山下 勝次

〒468-8511 愛知県名古屋市天白区久方2-12-1
TEL 052-809-1725,FAX 052-809-1721
  nanoplatform_office(at)toyota-ti.ac.jp
(at)を@に書き換えてください.