シリコンと各種物質のナノ微細加工によるハイブリッド化ものづくり  (豊田工業大学)

シリコン系のプロセスラインを軸に,III-V族,カーボン,磁気材料も含めたマイクロ・ナノ加工に対応可能.太陽電池,ナノ構造素子,MEMSに関する研究者を備え,技術指導や委託加工に対応できる.実習・講習会,企業向け支援に実績がある.
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事業の紹介

学外利用が可能なクリーンルームを備え,シリコン系(3~4インチ対応)素子の微細加工とプロセス設備群を中心に、一連の設備を持つ.
電子線描画や酸化・拡散炉など,微細加工に必要な標準設備を揃え,一連の試作が施設内で実施できる.
この基盤技術と,多種多様なナノテクノロジーを扱う研究室群とが連携して研究活動を進めている.
シリコン微細加工技術と様々なナノ構造体とのハイブリッド化に関する支援を推進する.
クリーンルームは企業で実務経験のある技術職員によって管理され,高度な技術指導や委託加工までに対応できる.
支援担当の研究室群からは,III-V族,カーボン,磁気材料にも対応できるナノ構造の加工・形成・評価用の設備群も提供され,学内研究者が協力する.
小規模大学ながら,太陽電池,ナノ構造素子と素材,MEMSなどに関する設備と技術を提供できる.
プローブ顕微鏡やX線計測の装置と技術から,構造評価も一か所で迅速に対応できる.
電子ビーム描画装置酸化・拡散炉
  
マスクアライナ装置実習・講習会の様子

ニュース

2017/02/07豊田工業大学「先進触媒開発研究センター第1回シンポジウム」(3月10日)開催のお知らせ
2017/01/23微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム「共用施設から生まれるイノベーション」(3月8日)開催のお知らせ
2017/01/10豊田工業大学「スマートエネルギー技術研究センター」第9回シンポジウム(1月30日)開催のお知らせ
2016/09/29豊田工業大学「企業様向けオープンラボ」(12月15日)開催のお知らせ
2016/09/15豊田工業大学「スマートエネルギー技術研究センター第8回シンポジウム,グリーン電子素子・材料研究センター第2回シンポジウム 合同シンポジウム」(11月18日)開催のお知らせ
2016/09/09微細加工プラットフォーム「センサー・MEMS実践セミナー」(9月30日)開催のお知らせ
2016/08/31豊田工業大学「難環境作業スマート機械技術研究センター第3回シンポジウム」(10月27日)開催のお知らせ
2016/08/31豊田工業大学「第12回ジョイントCSセミナー」「第6回スマートビークル研究センターシンポジウム」合同シンポジウム『深層学習とスマートビークル』(10月13日)開催のお知らせ
2016/05/30第30回 半導体プロセス実習・講習会(9月8~9日)開催のお知らせ
2015/11/18バイオ・MEMS実践セミナー(12月11日)開催のお知らせ

本事業の共用設備

成果事例

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豊田工業大学
研究支援部研究協力グループ 山下 勝次

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