東北大学ナノテク融合技術支援センター 試作コインランドリ  (東北大学)

MEMSを中心とした半導体試作開発ラインを開放しています.6インチまで対応する共用の設備で,必要な装置を必要な時に利用可能です.東北大学に蓄積されたノウハウも利用できます.デバイス/プロセス設計,装置操作指導などスタッフが最大限支援します.

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事業の紹介

MEMS/半導体微細加工に関する設備を学内外に広く開放し,研究開発や実用化を最大限支援します.20mm角程度の小片から6インチ基板までの微細加工が実施できる環境において,デバイス設計やプロセス設計を含む技術相談,利用支援,共同研究によって試作開発を支援します.1,800平米のクリーンルーム(そのうち1,000平米を利用中)を中心として,デバイスの試作,評価が一貫して行えることが特徴です.半世紀に渡って蓄積されたMEMSや半導体試作に関わるノウハウの提供が可能です.東北大学ではこれまでに施設共用を一つの柱とするオープンコラボレーションを実践し,産学連携により数多くの実用化を果たしてきました.これまでに培ってきた共用施設運用のノウハウを本事業でも最大限に活用します.敷居の低い施設運用とするとともにノウハウをさらに蓄積して,多くのユーザの要望に応えられるように全力で取り組みます.
LPCVD装置シリコン深掘エッチング
  
エピタキシャルポリシリコン構造体試作コインランドリのスタッフ

ニュース

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2016/10/31pdfワイヤーアレイ構造のシリコン太陽電池に関する研究
(国立研究開発法人 科学技術振興機構)
2015/11/06pdf音響光学フィルタの開発
(長野計器株式会社)
2014/10/29pdfエミッター開発
(株式会社ナノックスジャパン)
2013/06/18pdf表面周期微細構造を用いた波長選択性熱放射によるメタン改質反応の促進
(東北大学大学院工学研究科)
2013/06/18pdfMEMSカンチレバーデバイスの形成
(山形大学大学院理工学研究科)
2013/06/18pdfナノインプリント用微細金型の開発
(株式会社協同インターナショナル)
2013/10/17pdfシリコンエレクトレットマイクロホンの開発
(リオン株式会社,一般財団法人小林理学研究所)
2012/09/20pdfMEMS加工を用いた微細Si ぜんまい構造の実現
(株式会社タキオン,東北大学)

その他の成果事例

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