電子ビーム露光を中心とした微細構造技術支援  (東京工業大学)

平成24年度発足のナノテクノロジープラットフォーム事業でも,東京工業大学は過去10年の実績を基にトップダウン式のナノ構造構築の基盤装置である電子ビーム露光を中心とした微細構造構築技術を支援致します.
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事業の紹介

東京工業大学において支援する研究領域は,トップダウン式のナノ構造構築の基盤装置である電子ビーム露光を中心とした微細構造構築技術です.20nmクラスの微細パターン形成技術を基盤として,利用者の必要に応じて半導体/金属/絶縁体などのデバイス構造に重要な薄膜への転写までを含む3次元ナノ構造を構築する総合的な技術を提供します.電子ビーム露光に重ね合わせ露光等を行った場合には,構築可能な構造は非常に幅広くなります.化合物半導体を中心として光・電子デバイス作製の為の広いノウハウを持ち,デバイス物理まで踏み込んだアドバイスが可能です.
利用申請者のアイデアに基づいた研究を行う為に,知的財産権が申込者に帰属できる技術代行を主とした利用形態としています.
また,重ね合わせ露光を含む高度な電子ビーム露光技術を中心にして,電子ビーム露光装置を持った主要大学,研究機関等のそれぞれの露光装置を高い活用度にする体制構築を目指した支援として,出張技術指導・出張スクール等も開催します.

電子ビーム露光装置JBX-6300SJ
(日本電子製)
6連電子銃/ローロドック付き蒸着器
(エイコーエンジニアリング製)
  
走査型電子顕微鏡S5200(日立製作所製)EBLスクールで実習する重ね合わせを含んだ
Tゲート用三層レジストパターンの断面図

ニュース

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2013/10/17pdfグラフェン抵抗変化型メモリの開発
(慶應大理工,東工大院理工,東工大 量子ナノ研セ)
2016/10/31pdf2種類の直径をもつ金属円柱のプラズモニック結晶
(九州大学 中央分析センター)
2014/10/29pdf量子井戸インターミキシングを用いたIII-V CMOSフォトニクス用 マルチバンドギャップ貼り合わせ基板
(東京大学)
2015/11/06pdf液晶を用いたシリコン細線マッハツェンダー光スイッチ
(産業技術総合研究所,明治大学 大学院理工学研究科)
2013/06/14pdfイオン液体ゲート制御のフッ化グラフェンFETの作製
(東京工業大学理工学研究科)
2013/06/14pdfMOCVDによるInP基板上GaInAs結晶成長
(金沢大学)
2013/06/14pdfサブミリ波応用に向けた高い遮断周波数を持つInAs HEMTs
(台湾国立交通大学)
2012/09/20pdfサブミクロン強誘電体ゲート薄膜トランジスタ
(JST-ERATO,北陸先端科学技術大学院大学)

その他の成果事例

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