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微細加工プラットフォームコンソーシアム  (代表機関:京都大学)



本プラットフォームは,北海道から九州までの全国16の機関(大学・独立行政法人)で構成されています.本プラットフォームを利用することにより,装置を有しない研究者や企業でも,マイクロ・ナノ加工に関する装置とその利用技術,さらには経験豊富な研究者の知恵と技術の支援を得て,デバイスや材料の研究開発をすぐに始めることができます.
http://nsn.kyoto-u.ac.jp/
このプラットフォームとコンタクト
【電話,E-mailでのお問合せ】
 075-753-5656
  nanoplat(at)t.kyoto-u.ac.jp
(at)を@に書き換えてください.

ニュース

2017/10/04豊田工業大学「難環境作業スマート機械技術研究センター第4回シンポジウム」(12月14日)開催のお知らせ
2017/09/22豊田工業大学 「スマートビークル研究センター 第7回シンポジウム」(11月17日)開催のお知らせ
2017/09/19微細加工プラットフォーム「ビームテクノロジー&ナノ加工実践セミナー」(10月11日)開催のお知らせ
2017/09/19豊田工業大学高分子およびソフトマテリアル材料のための機器分析講座「X線構造解析技術の習熟」(11月8~9日)開催のお知らせ
2017/09/05豊田工業大学「グリーン電子素子・材料研究センター第3回シンポジウム スマートエネルギー技術研究センター第10回シンポジウム 合同シンポジウム」(10月13日)開催のお知らせ
2017/08/01エッチング実践セミナー(9月13日)開催のお知らせ
2017/07/05東京大学微細加工プラットフォーム 超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点「マルチフィジックスシミュレーションセミナー I」(7月26日)開催のお知らせ
2017/06/13豊田工業大学「企業様向けオープンラボ」(9月1日)開催のお知らせ
2017/06/13第31回 半導体プロセス実習・講習会(9月14日~15日)開催のお知らせ
2017/06/13平成29年度 リソグラフィ・微細加工 実習・講習会(8月3日~4日)開催のお知らせ

プラットフォームの紹介

 本プラットフォームは,マイクロ・ナノ加工に関する400の装置により年間1,000件の利用を支援し,研究レベルの向上と研究期間の短縮化に貢献しています.また異分野研究者との共同研究による異分野融合によるイノベーションの創出と企業への技術移転の効率化にも貢献します.
 本プラットフォームはユーザが利用しやすいように以下の運営を行っています.
  • 専属のコーディネータを配置し,ユーザの要望に適した支援機関を紹介するとともに,全国に展開するプラットフォームを1つの支援機関のように利用し、各地域に無い機能をプラットフォームの他の支援機関が補完するよう調整を行い,支援します.
  • 産学官に開かれた実践的なセミナーを受講することで,微細加工の経験がない人でも講義と実習により技術を修得することができます.
  • 微細加工の要であるリソグラフィー装置を充実化させています.全国に配備する46の直接描画装置により,デバイス構造体を描画することができますので,マスク作成の手間を省いた効率的な研究開発を可能とします.キャラクタプロジェクションタイプの超高速電子ビーム露光装置も関東と関西に1台ずつ配備しています.
講義クリーンルームでの研修の様子
  




本事業の共用設備

  • 電子ビーム描画装置(ポイントビーム,ビーム可変成形,キャラクタプロジェクションの各タイプ)
  • ステッパー
  • RIE(Reactive Ion Etching)装置
  • スパッタ装置
  • CVD装置
  • 集束イオンビーム加工装置
  • レーザー加工装置
  • 膜特性計測・分析装置
  • 形状計測装置,表面計測装置(SEM,SPM等)
  • 各機関へのリンク

    お問い合わせ

    【代表機関】
     京都大学 学際融合教育研究推進センター 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム事務局
     〒606-8501 京都府京都市左京区吉田本町
     総合研究1号館・プロジェクトラボ301号室
     TEL 075-753-5656,FAX 075-753-5658
     nanoplat(at)t.kyoto-u.ac.jp

    【実施機関】

     北海道大学
     〒001-0021 北海道札幌市北区北21条西10丁目
     創成科学研究棟内
     TEL 011-706-9340
     nanoplat(at)cris.hokudai.ac.jp

     東北大学
     〒980-0845 宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
     東北大学西澤潤一記念研究センター内
     TEL 022-229-4113
     shisaku-info(at)ml.tohoku.ac.jp

     国立研究開発法人 物質・材料研究機構
     〒305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1
     TEL 029-859-2797
     NIF-office(at)nims.go.jp

     国立研究開発法人 産業技術総合研究所
     〒305-8568 茨城県つくば市梅園1-1-1 中央第2-12
     TEL 029-861-3210
     npf-info-ml(at)aist.go.jp

     筑波大学
     〒305-8577 茨城県つくば市天王台1-1-1
     TEL 029-853-5804
     staff(at)u-tsukuba-nanotech.jp

     東京大学
     〒113-0032 東京都文京区弥生2-11-16
     武田先端知ビル301号(東京大学浅野キャンパス内)
     TEL 03-5841-1506
     nanotech(at)sogo.t.u-tokyo.ac.jp

     早稲田大学
     〒162-0041 東京都新宿区早稲田鶴巻町513
     早稲田大学研究開発センター 120-5号館
     TEL 03-5286-9068
     inn-npc(at)list.waseda.jp

     東京工業大学
     〒152-8552 東京都目黒区大岡山2-12-1-S9-2
     TEL 03-5734-2572
     nanofab(at)quantum.pe.titech.ac.jp

     名古屋大学
     〒464-8603 愛知県名古屋市千種区不老町
     TEL 052-789-3303
     info(at)nanofab.engg.nagoya-u.ac.jp

     豊田工業大学
     〒468-8511 愛知県名古屋市天白区久方2-12-1
     TEL 052-809-1725
     nanoplatform_office(at)toyota-ti.ac.jp

     京都大学
     〒606-8501 京都府京都市左京区吉田本町
     工学研究科 物理系校舎 327号室
     TEL 075-753-5231
     kyodai-hub(at)saci.kyoto-u.ac.jp

     大阪大学
     〒567-0047 大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
     大阪大学産業科学研究所内
     TEL 06-6879-4654
     info-nanoplat(at)sanken.osaka-u.ac.jp

     香川大学
     〒761-0396 香川県高松市林町2217-20
     TEL 087-864-2529
     nanoplatform(at)ao.kagawa-u.ac.jp

     広島大学
     〒739-8527 広島県東広島市鏡山一丁目四番二号
     TEL 082-424-6265
     nanotech(at)hiroshima-u.ac.jp

     山口大学
     〒755-8611 山口県宇部市常盤台2丁目16番1号
     山口大学 大学研究推進機構
     TEL 0836-85-9993
     nanotech(at)yamaguchi-u.ac.jp

     北九州産業学術推進機構
     〒808-0135 福岡県北九州市若松区ひびきの2番1号
     TEL 093-695-3600
     nano01(at)hibikino.ne.jp