大阪大学ナノテクノロジー設備供用拠点  (大阪大学)

本拠点では各種量子ビームを用いたナノファブリケーション技術の開発や次世代の露光技術であるEUVリソグラフィ実現の鍵となるレジスト開発と評価,有機/無機/酸化物等の各種素材からなる極微デバイス作製・評価や特異的なナノ構造体の作製の支援を行います.
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事業の紹介

本拠点の微細加工プラットフォームでは超高精細電子線描画装置や集束イオンビーム装置等の量子ビームテクノロジーやナノファブリケーション技術を用いて,高感度・高解像度レジストの材料開発とその評価、有機/無機/酸化物等の各種素材からなる極微デバイスの作製・評価,特異的なナノ構造体の開発等を行うための支援技術を提供します.これらの支援を拠点内の他の2つのプラットフォームや,代表機関を含む他機関プラットフォームと連携・融合して行います.
また,大阪大学の産学連携本部とも協力し,地域企業や学外の研究機関と有機的な連携をとりながら基礎基盤技術を確立し,新産業創出の礎を築くことを目指します.そして本学がもつ"智"と本拠点の利用者の融合をはかり,3つのプラットフォームを通して外に開かれたオールジャパン体制のゲートウェイとなることで,単なる設備・施設の共用のみを行うのではなく,ナノテクノロジー関連の人材育成やイノベーションの核となる知見・技術を創出するプラットフォームの"供用"を行います.

集束イオンビーム誘起CVD超高精細EBリソグラフィ装置
  
深堀エッチング装置EB蒸着装置

ニュース

2017/01/23微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム「共用施設から生まれるイノベーション」(3月8日)開催のお知らせ
2016/11/18【開催報告】第4回ナノテクプラットフォーム関西「電子デバイスフォーラム京都」パネル展示および大学セッション
2016/09/20「電子デバイスフォーラム京都」 大学セッション:ナノテクノロジープラットフォーム ~最新解析技術と活用事例~(11月1日)開催のお知らせ
2016/09/09微細加工プラットフォーム「センサー・MEMS実践セミナー」(9月30日)開催のお知らせ
2015/12/01第3回ナノテクプラットフォーム関西 「電子デバイスフォーラム京都」パネル展示および大学セッション(11月12日)開催報告
2015/11/18バイオ・MEMS実践セミナー(12月11日)開催のお知らせ
2015/09/25電子デバイスフォーラム京都 大学セッション ナノテクノロジープラットフォームと産学連携(11月12日)開催のお知らせ
2014/12/19【開催報告】第2回ナノテクプラットフォーム関西 「電子デバイスフォーラム京都」パネル展示および大学セッション
2014/09/08『電子デバイスフォーラム京都』 大学セッション 「ナノテクノロジープラットフォームと産学連携」 開催(10月30日)のお知らせ
2013/12/27大阪大学微細加工プラットフォーム/分子・物質合成プラットフォーム 第2回施設見学会(1月15日)開催のお知らせ

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2016/10/31pdf高Q値ナノ光ファイバ共振器の作製
(京都大学工学研究科)
2015/11/06pdfシリコン基板上への多孔質シリカマイクロチューブ自己集積技術の開発
(神戸大学自然科学系先端融合研究環重点研究部,神戸大学工学研究科)
2014/10/29pdf天然高分子材料の微細加工体の創製
(日本原子力研究開発機構量子ビーム応用研究部門,早稲田大学理工学研究所)
2013/10/17pdf高精細電子レジストの評価
(合同会社 グルーオンラボ)
2013/07/12pdf架橋フッ素樹脂微小部材を用いたUVナノインプリントに関する研究
(早稲田大学理工学術院総合研究所,大阪大学産業科学研究所)
2012/09/20pdf集束イオンビームを用いたポリ-L-乳酸の微細加工
(早稲田大学,日本原子力研究開発機構)

その他の成果事例

お問い合わせ

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〒567-0047 大阪府茨木市美穂ヶ丘8-1
大阪大学産業科学研究所内
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