NIMS微細加工プラットフォーム  (物質・材料研究機構)

多種多様な材料に適応可能な微細加工装置群および観察・計測装置群,電気特性評価装置群を合計40台(付帯装置含む)ほど完備し,ナノスケールからミリスケールにわたる3次元加工・素子作製を主として支援を実施する.

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事業の紹介

NIMS微細加工プラットフォームは,世界最高水準の微細加工プロセッシング装置,およびナノスケール観察・測定評価装置が完備された450m2のクリーンルームを主要施設に微細加工を担う共用施設として4年間運用されてきた.これまで,電子材料・電子素子,光学材料・光学素子,ナノ・マイクロ構造作製,環境・エネルギー,および医工連携・バイオ工学などの多様な分野の研究支援を実施してきた.NIMS微細加工プラットフォームは,半導体材料,酸化物材料,誘電体材料,磁性材料,金属材料,有機材料,生体材料,および複合材料等様々な材料のナノからマイクロスケール,更にはミリスケールにわたる3次元的な微細加工の支援や電子デバイスおよび光デバイスの作製支援を行う.更に,NIMS分子・物質合成プラットフォームとも連携することによって,自然科学から生命科学にわたる学際的融合研究や独法・大学・企業間の共同研究,技術代行,技術補助,技術相談および機器利用を積極的に進める.

450m2のクリーンルームに
30台以上の微細加工装置を完備
リフトオフ技術による金属電極形成と
ドライエッチング技術を用いて作製した
グラフェン結合量子ドット素子
  
高精度な電子ビーム描画技術とドライエッチング技術
により作製した金属ホールアレイを用いた
表面プラズモンカラーフィルタ
FIB-SEMダブルビーム装置を用いて
作製した透過電子顕微鏡(TEM)観察用試料

ニュース

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2013/06/14pdf電子ビーム描画装置を用いたグラフェン/超伝導金属接合の作製
(東京理科大学,物質・材料研究機構MANA)
2013/06/14pdf発光波長制御されたIn-flushed量子ドットによる広帯域発光
(和歌山大学,NEC,物質・材料研究機構)
2012/09/20pdfプレパターニング基板へのプラズマ処理によるダイヤモンドライクカーボン膜被覆パターニング表面の作製
(東邦大医療センター佐倉病院,慶應大学)
2012/09/20pdf積層型ホールアレイを用いたビーム走査デバイス
((株)豊田中央研究所,物質・材料研究機構,大阪大学,筑波大学)
2012/09/20pdf常伝導や超伝導金属と結合した量子リング素子作製
(東京理科大学,物質・材料研究機構)
2012/09/20pdfアモルファスSiを用いたナノ光デバイスの研究
(福井大学,物質・材料研究機構,東洋大学)

その他の成果事例

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