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最新鋭の装置群を備えたアンダーワンルーフ型微細加工プラットフォーム  (京都大学)

最新鋭微細加工装置群と8名の専門技術職員を擁する微細加工プラットフォームを駆使して,シンセシス知を創出・蓄積・活用・継承するためのアンダーワンルーフ型研究開発環境と人的交流環境を提供します.

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 075-753-5231
  kyodai-hub(at)saci.kyoto-u.ac.jp
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事業の紹介

低炭素ナノデバイス創製ハブは,皆様の研究の加速を支援する施設として80余種類の装置を提供しています.
1.多種多様な基板・薄膜材料をウエハレベルで加工・評価することができるナノマイクロ試作ラインを提供
・ナノリソグラフィー装置…マスク作製からレジスト現像までの多彩な一連の装置
・ナノ材料加工・創製装置…各種ドライエッチング,薄膜作製などの装置
・ナノ材料分析・評価装置…SEM,AFM,蛍光顕微鏡,電気特性評価装置など
2.開かれた施設として運用
研究支援のための施設として,簡単な手続きで学内外の研究者に広くご利用いただけます.
3.装置ごとに利用時間に応じた料金を設定
1時間当たり,1日当りの料金が設定されています.
4.利用者自らが装置を操作し実験できます
専門の技術職員による支援を受けながら利用できます.
5.技術相談,技術代行サービスも提供
技術職員が加工,評価に関する技術相談を承ります.必要な場合には技術代行も承ります.
イエロールームクリーンルーム
  
加工・評価室利用者用居室(TV会議システム完備)


ニュース

2017/11/14【開催報告】第4回ナノテクプラットフォーム関西「電子デバイスフォーラム京都」パネル展示及び大学セッション
2017/01/23微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウム「共用施設から生まれるイノベーション」(3月8日)開催のお知らせ
2016/11/18【開催報告】第4回ナノテクプラットフォーム関西「電子デバイスフォーラム京都」パネル展示および大学セッション
2016/09/20「電子デバイスフォーラム京都」 大学セッション:ナノテクノロジープラットフォーム ~最新解析技術と活用事例~(11月1日)開催のお知らせ
2016/09/09微細加工プラットフォーム「センサー・MEMS実践セミナー」(9月30日)開催のお知らせ
2016/06/03H28年度 電子線描画リソグラフィスクール(6月14日)開催のお知らせ
2015/12/01第3回ナノテクプラットフォーム関西 「電子デバイスフォーラム京都」パネル展示および大学セッション(11月12日)開催報告
2015/11/18バイオ・MEMS実践セミナー(12月11日)開催のお知らせ
2015/11/04ナノテク革新技術フォーラム~京大ナノハブ拠点活用による新規技術開発に向けて~(12月2日)開催のお知らせ
2015/10/20GRENE事業 先進環境材料・デバイス創製スクール「フォトリソグラフィーによる回折光学素子の作製と評価」【実習】(12月3~4日)開催のお知らせ

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2016/10/31pdf窒化チタンプラズモニックアレイの作製
(京都大学工学研究科)
2016/10/31pdf植物の成長モニタリング用MEMSセンサの開発
(神戸大学工学研究科)
2016/10/31pdf創薬スクリーニングを目的としたマイクロ流体デバイス
(京都大学工学研究科)
2015/11/06pdf非鉛圧電膜の加工技術
(株式会社サイオクス)
2014/10/29pdf接点変調によるチェッカーボード型メタ表面の転移現象
(京都大学大学院工学研究科 電子工学専攻)
2013/10/17pdf高強度テラヘルツを用いた物質探索および制御
(京都大学 物質‐細胞統合システム拠点,オリンパス,Magill University)
2013/08/28pdfポリマー微小光素子の研究
(大阪市立大学)
2013/08/28pdf次世代グリーンセンサデバイスの開発
(オムロン株式会社)
2013/08/28pdfエレクトロポレーション技術を用いた細胞内物質導入の研究
(東京大学大学院)
2013/08/28pdf細胞操作用マイクロハンドならびに力センサの開発SOIウエハを用いたマイクロハンドのエンドエフェクタ製作
(大阪大学大学院)

その他の成果事例

お問い合わせ

京都大学 ナノテクノロジーハブ拠点
〒606-8501 京都府京都市左京区吉田本町
工学研究科 物理系校舎 327号室
TEL 075-753-5231,FAX 075-753-5650
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