北海道大学 微細加工プラットフォーム実施機関  (北海道大学)

本実施機関では光・電子・スピンを制御する新規ナノデバイス創製,バイオテクノロジーや新規マテリアル開発といったナノテクノロジーにより先端研究を加速することが可能な分野への微細加工支援を行います.高精度加工装置群と独自の加工技術に研究者の経験と熱意を結びつけ,最先端の研究開発支援・技術相談サービスを提供します.

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事業の紹介

本実施機関では,学内2カ所のクリーンルームを開放して幅広いユーザーへの研究開発支援を行います.
支援装置としては,加速電圧130kVの超高精度電子線描画装置を含む5台のEB描画装置,レーザー直接描画装置,FIB加工装置,両面マスクアライナーといった微細パターン形成装置群,金属,磁性体,酸化物までを高精度に成膜可能なスパッタ・蒸着装置群,加工素材と精度に合わせて選択できるドライエッチング・イオンミリング装置,作製したデバイスを評価するためのFE-SEMや太陽光シミュレーター等を整備しています.
これらの装置群に加え,多くの研究者がもつ最先端の加工ノウハウと技術職員が積み上げたデータを有効に活用し,ユーザーの研究,技術・製品開発が加速されるようなデバイス創出への積極的なサポートを推進します.

クラス100,クラス10000のクリーンルームシングルナノメートルで制御された
ギャップを持つ金ナノダイマー構造
  
超高精度電子ビーム描画装置(125kV)原子層堆積装置

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