FAIS共同研究開発センター  (北九州産業学術推進機構)

北九州学術研究都市内の共同研究開発センターは,IC・MEMS関連デバイス研究開発向けの各種微細加工設備を有し,広く企業・大学研究機関等に開放しています.これら設備及び微細加工技術は,バイオ&ライフサイエンス,環境技術分野への活用も期待されており,企業・大学における微細加工関連の研究者のみならず,異分野の研究者(バイオ・医療系等)にも利用しやすい環境づくりを目指して取り組んでいます.
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【電話,E-mailでのお問合せ】
 093-695-3600
  nano01(at)hibikino.ne.jp
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事業の紹介

【CMOSプロセス品一貫開発支援】
共同研究開発センター独自のCMOS1umプロセスに基いた設計ルールを用いて,回路設計からフォトマスク作製,前工程,後工程,特性評価及び不良解析まで一気通貫の研究開発を支援します.
【MEMS微細加工技術支援】
Si系材料を主体とした三次元構造体(マイクロブリッジ・カンチレバー・SiN自立膜等)や,マイクロ変位センサの製作など,数々のSiプロセスの他,水晶,石英,サファイア基板などを使った様々なMEMSデバイスの研究開発を支援します.
【人材育成】
安全教育やオペレーショントレーニングなど,施設を安全に利用するための基礎教育を行うと共に,微細加工技術を応用した実用性の高いアプリケーション創出が可能な人材を育成することを目的とした教育を,IC・MEMS関連の実習型セミナーを通して実施します.

イエロールームでの作業風景
(露光装置の操作)
CMOS IC試作例 ※3.2㎜角チップ
(6チップに10ユーザーが相乗り)
  
MEMS試作例
(マイクロ変位センサ)
人材育成の様子
(IC製造プロセス実習)

ニュース

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2016/10/31pdf凝縮伝熱促進のための濡れ性こう配を有する機能性伝熱面の製作
(宇部工業高等専門学校,九州工業大学)
2015/11/06pdfOPAMP内臓小型センサ
(九州大学システム生命科学府)
2014/10/29pdf超小型変位センサの特性に関する研究
(九州大学システム生命科学府)
2013/10/17pdf誘電泳動現象を用いた白血病細胞検出の応用
(一般財団法人ファジイシステム研究所)
2013/07/18pdf超小型変位センサの特性に関する研究
(九州大学システム生命科学府,一般財団法人ファジィシステム研究所)

その他の成果事例

お問い合わせ

北九州産業学術推進機構
〒808-0135 福岡県北九州市若松区ひびきの1番5号
 093-695-3600
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