ナノプロセシング施設(NPF)  (産業技術総合研究所)

異分野融合と人材育成を推進する場として,多種多様な超微細加工,実装,デバイス試作,材料分析,計測・評価を可能とする各種先端機器を備えたナノプロセシング施設(NPF)を産学官研究者に公開しています.

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事業の紹介

産業技術総合研究所に設置されている産学官に完全に公開されたユーザー共用施設NPF(ナノプロセシングファシリティー)において,ナノエレクトロニクス,ナノマテリアル,N&MEMS,フォトニクス,バイオ,環境エネルギー等の異分野融合推進の場として,超微細加工,実装,計測・評価,デバイス試作を可能とする一連の先端機器を産学官研究者に公開し,専門家による技術相談,装置利用,技術支援,成果創出支援サービスを提供するとともに,若手研究者や高度技術者の育成を行っています.NPFには,任意サイズから3~8インチ基板までの各種材料の微細加工を行う装置群が整備されており,高度支援技術者によって装置利用トレーニングをはじめとする手厚いサービスが提供され,特に,充実した人材育成カリキュラムがあることがその研究開発支援の特徴となっています.さらに,ウエハサイズのスケールアップと集積実証を可能とする研究支援サービスもあります.
人材育成スクール講義電子ビームリソグラフィーによる微細加工
  
微細加工結果の走査電子顕微鏡観察集束イオンビームによる加工・観察結果

ニュース

本事業の共用設備

成果事例

最新の成果事例

2016/10/31pdf新しいex vivo微小血管モデルにおける白血球活性化の指標の検討
(獨協医科大学日光医療センター,菊池マイクロテクノロジー研究所,獨協医科大学ハートセンター)
2015/11/06pdf次世代電池材料(金属-空気電池向け電極触媒材料)
(株式会社エア・リキード・ラボラトリーズ)
2014/10/29pdf遷移金属添加III族窒化物のバンド構造解明
(京都工芸繊維大学)
2013/06/14pdfドライエッチングガス種に依存したシリコン流路底面平坦性のFE-SEM観察による評価
(株式会社菊池マイクロテクノロジー研究所)
2013/10/17pdf有機トランジスタにおけるコンタクト電極構造の最適化
(京都大学大学院 工学研究科)
2013/06/14pdfAl2O3を用いた抵抗変化型メモリの開発
(東京エレクトロン㈱先端プロセス開発センター)
2013/06/14pdf遷移金属添加半導体のバンド構造解明
(京都工芸繊維大学)
2013/06/14pdf超微細加工人材育成スクール
(産業技術総合研究所,東京工業大学)
2012/09/20pdf希釈冷凍機温度磁場中近接場光学顕微鏡による量子ホール端状態のマッピング
(筑波大学)
2012/09/20pdfDRAMキャパシタ向け電極ラフネスとリーク電流評価
(株式会社日立国際電気)
2012/09/20pdfプラズモンセンサの作製とバイオセンシングへの応用
(産業技術総合研究所,筑波大学)
2012/09/20pdf太陽電池用光閉じ込め基板の作製
(産業技術総合研究所)

その他の成果事例

お問い合わせ

国立研究開発法人産業技術総合研究所 ナノプロセシング施設
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