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キーワード
検索対象ナノテクノロジープラットフォーム事業
年度
研究領域微細加工
機関(拠点)広島大学
6件中、1件目~6件目を表示しています。
平成27年度 微細加工 広島大学
PDF 炭化ケイ素基板への高温リンイオン注入と短時間高温活性化アニールの研究
所属:広島大学大学院先端物質科学研究科
平成26年度 微細加工 広島大学
PDF 石英基板上への非晶質シリコン薄膜堆積
所属:奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
平成26年度 微細加工 広島大学
PDF ラザフォード後方散乱法を用いた低温成長InxGa1-xAsの結晶構造の作製及び解析
所属:広島大学大学院先端物質科学研究科
平成25年度 微細加工 広島大学
PDF DNAをチャネルとするSi半導体MOSFET ~DNAのメモリ機能を発見~
所属:兵庫県立大学
平成24年度 微細加工 広島大学
PDF 表面プラズモン共鳴を用いたノロウイルスセンサの開発
所属:北海道大学大学院工学研究院
平成24年度 微細加工 広島大学
PDF 超臨界二酸化炭素を利用したポリイミド微細加工技術の開発(XPS)
所属:広島大学大学院工学研究科